Введение
1 Описать методы повышения точности и чувствительности измерений.
1.1 Повышение точности и чувствительности измерений классической интерферометрии
1.2 Повышение точности и чувствительности измерений в голографической интерферометрии
2 Способ повышения точности интерферометрического измерительного контроля качества подложки оптического элемента
2.1 Запись голограмм подложки дифракционного оптического элемента
2.2 Оптическая обработка голограмм
2.3 Перезапись голограмм
2.4 Восстановление интерферограмм
Заключение
Список использованных источников
1. Kress, B. C. Applied Digital Optics: From Micro-optics to Nanophotonics / B. C. Kress, P. Meyrueis. – Wiley, 2009. – 638 p.
2. Zappe, H. Fundamentals of Micro-Optics / H. Zappe. – Cambridge University Press, 2010. 646 p.
3. Брунс, П. Мощные диодные лазеры – новые возможности для применения / П. Брунс, Ф. Кубаки // Фотоника. – 2008. № 5. – С.6–12.
4. Таганцев, Д. К. Получение оптических микроэлементов из стекол с помощью экструзии / Д. К. Таганцев // Оптический журнал. – 2014. – Т. 74, № 2. – С. 61–68.
5. Dannberg, P. Wafer-level hybrid integration of complex micro-optical modules / P. Dannberg [et al.] // Micromachines. – 2014. № 5. – P. 325–340.
6. Оптический производственный контроль / Д. Малакара [и др.]; под ред. Д. Малакары. – М. : Мир, 1985. – 400с.
7. Malacara, D Interferogram Analysis For Optical Testing / D. Malacara, M. Servín, Z. Malacara. – Taylor & Francis Group, 2005. – 568 p.
8. Голографическая интерферометрия фазовых объектов / А. К.Бекетова [и др.]; под ред. Г. И. Мишина. – Л.: Наука, 1979. – 232 с.
9. Зейликович, И. С. Голографические методы регулировки чувствительности интерференционных измерений при диагностике прозрачных сред / И. С. Зейликович, А. М. Ляликов // Успехи физических наук. – 1991. – Т. 161, № 1. – С. 143–164.
10. Вест, Ч. Голографическая интерферометрия / Ч. Вест. – М. : Мир, 1982. – 504 с.
11. Креопалова, Г. В. Оптические измерения: учебник для вузов / Г. В. Креопалова, Н. Л. Лазарева, Д. Е. Пуряев; под общ. ред. Д. Т. Пуряева. – М. : Машиностроение, 1987. – 264 с.
12. Мошкин, Б. Е. Интерферометрический метод измерения клиновидности / Б. Е. Мошкин, Б. С. Майоров // Оптический журнал. – 2007. – Т. 74, № 2. – С. 24–27.
13. Буть, А. И. Достижение высокой чувствительности измерений при формировании голографических интерферограмм клиновидных пластин / А. И. Буть, А. М. Ляликов // Письма в Журнал технической физики. – 2011. – Т. 37, Вып. 17. – С. 51–57
14. Ляликов, А. М. Высокочувствительный интерферометрический контроль отклонения угла клина прозрачных пластин/ А. М. Ляликов // Оптика и спектроскопия. – 2012. – Т. 113, №2. – С.229–233.
15. Савонин, С. А. Постобработка голограмм сфокусированного изображения в цифровой голографической интерферометрии / С. А. Савонин, П. В. Рябухо, В. П. Рябухо // Компьютерная оптика. – 2015. Т. 39, № 1. – С. 26–35.
16. Одиноков, С.Б. Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов: учебное пособие / С.Б. Одиноков, Г.Р. Сагателян, М.С. Ковалев. – Москва: Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. – 121, [3] с.: ил.
17. Tolansky Multiple Beam Interferometry. England: Clarendon Press Oxford, 1948.
18. Королев Ф.А., Кромский Г.И., Скоков И.В. Применение многолучевой интерферометрии для измерения малых плотностей газов // Изв. вузов. Физика. 1963. №5. С. 61.
19. Polster HD., Paster J.,Seott R.M., CraneR., Langerbeck P.H., Steinberg G. New developments in interferometry //Applied Optics. 1969. Vol. 8. № 3. P. 521.
20. Мустафин К. С, Селезнев В. Α., Штырков Е.И. Использование нелинейных свойств фотоэмульсии для повышения чувствительности голографической интерферометрии // Оптика и спектроскопия. 1970. № 28. С. 1186.
21. Афанасьева В.Л., Мустафин КС, Селезнев В.А. Простой способ получения интерферограмм с повышенной чувствительностью // Оптика и спектроскопия. 1972. Т. 33. С. 1183 - 1185.
22. Островская Г.В., Островский Ю.И. Двухдлинноволновой голографический метод изучения дисперсионных свойств фазовых объектов // Журнал теоретической физики. 1970. №40. № П. С. 2419-2422.
